高純度石英ガラス

石英ガラスは、高純度、耐熱性、光の透過性、化学的安定性、電気絶縁性など、優れた特性を多く併せ持った材質です。

 

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■高純度

石英ガラスは、非常に高い純度を持っています。
高集積化が進み、ごく微量の不純物も許されない半導体製造
プロセスにおいても、純度の高い石英ガラスが反応管として
用いられています。

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 ■優れた耐熱性と極めて低い熱膨張係数

 石英ガラスは、優れた耐熱性と、極めて低い熱膨張係数を
 併せ持っています。
 半導体製造時の熱処理プロセスといった高温を使用する際も、
 石英ガラスが炉芯管やボートといった耐熱形状安定性の高い
 部材として用いられています。



 

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■全波長にわたる高い光透過率

透明石英ガラスは、一般のガラスと比べて光透過率が紫外から
赤外の全波長にわたって非常に高いという特徴があります。
露光装置用のレンズ素材、光ファイバー素材、ランプ用材料など、
利用方法は多岐に渡ります。特に短波長の紫外領域では、どの
ガラスよりも良好な透過性を示します。
 
 

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